焙燒后的炭素制品是多孔材料。為了改善或改變制品的某些理化性能，而將其置于可密閉容器——浸漬罐內，通過抽真空排氣，在一定的溫度和壓力下，使注入的液態浸漬劑浸滲到制品開口氣孔中，并在隨后的冷卻過程中被固化，以達到減少產品孔度并改善氣孔結構，進而改善或改變制品物理和機械性能之目的。

炭素浸漬真空系統主要為羅茨液環真空機組，以水環泵作為前級泵，串聯一個或多個羅茨泵，極限壓力可達到0.5Pa。機組包含水環泵、羅茨泵、電機及相關的附屬管道、閥門、儀表等，可根據客戶需求選用換熱器、汽液分離器、冷水機等。

為降低所抽氣體溫度，特設計在機組吸氣口前端加入除塵冷卻單元，由油浴罐、冷卻罐、除塵罐組成。油浴罐內部分隔為兩部分，左部進氣，右部排氣，底部有變壓器油，氣體由罐上方進入，其中的雜質溶入真空高速油中，干凈氣體進入到冷卻罐中，再經除塵罐進去機組吸氣入口。 引進冷水機自行冷卻工作液，有效解決企業冷卻水溫度高的問題。

羅茨真空機組可采用閉式循環系統，在泵工作期間 , 由于部分工作液會隨所抽排的氣體被帶出泵 , 經過氣液分離器內分離后 , 又流回到泵中 , 使減少的工作液體得到隨時補充，即工作液體是閉路循環的 。因需抽排氣體的浸漬罐保有一定的溫度 , 將使液環真空泵的溫度升高 , 工作液的溫度也升高 , 其飽和蒸汽壓也要升高 , 因而就要影響所能達到的真空度 , 因此 , 增加換熱器，以降低工作液的工作溫度 。

羅茨液環真空機組具有在高真空度下抽速大的特點；選擇真空機組時，一般要按高于工作真空至少半個或一個數量級以上來選擇合適的機組； 羅茨液環真空機組的前級泵的工作液多采用水，也可采用有機溶劑（如真空泵油、柴油等），其極限真空由工作液的飽和蒸氣壓決定。